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InOxSide®

Bester Medienverbrauch seiner Klasse

Die InOx Serie garantiert die effiziente Entfernung der PSG Schicht in der Solarzellen Serienfertigung. In der RENA InOxSide® findet die PSG Entfernung und die p-n-Übergang Isolation innerhalb einer Anlage statt, wodurch die Prozessintegration und der Workflow in der Linie verbessert werden. Die p-n-Übergang Isolation geschieht durch die Ätzung der Zellrückseite, wobei die Oberfläche der Vorderseite trocken bleibt.

Vorteile im Überblick

  • PSG Entfernung und p-n-Übergang Isolation in einem einzigen Tool
  • p-n-Übergang Isolation durch die Emitterentfernung auf der Rückseite
    -
    Ermöglicht die Bearbeitung von Rückseiten passivierten Zellen
  • Steigerung der Zelleneffizienz
  • Prozessinbetriebnahme durch RENA

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