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E-Mail info@rena.com

RENA

Batch S Plattform

Nassbank für die Halbleiterproduktion und andere Anwendungsbereiche

Modular & Kundenspezifisch

Anwendungsbereiche

  • Halbleiter, MEMS, LED, OLED, Optoelektronik, Kunststoff-Elektronik , Medizintechnik
  • Alle Nassprozesse in FEOL und BEOL

Vorteile im Überblick

  • Hohe Prozessflexibilität und Analyse durch frei konfigurierbare Software
  • Fortschrittliche Ablaufplanung und Durchsatz-Simulation
  • Standardisierte sowie hoch individualisierte Systeme
  • Alle Substratarten von 4” bis 12”
  • Handlingsystem für Standard-Carrier, Low Mass Carrier and Carrierless
  • Flexible Ein- / und Ausgabe
  • Modulares Design erleichtert sowohl kleine Änderungen als auch umfangreichen Anpassungen
  • Minimierte Stellfläche und schnelle Inbetriebnahme durch integrierte Schaltschränke
  • Maschine in Module unterteilt um Installationsaufwand zu minimieren und Transport per Luft- und Seefracht zu ermöglichen
  • Hergestellt nach SEMI Standards
  • Bis zu Reinraumklasse ISO Class 3
  • Wartungsfreundliches Design

Technical Data Batch S Plattform

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Bernard Winker
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