RENA Technologies GmbH
Höhenweg 1
D-78148 Gütenbach
Tel. +49 7723 9313-0
E-Mail info@rena.com

RENA

InWaClean

Prozessanlagen der Serie RENA InWaClean mit integrierter Trocknung entfernen in einer physikalisch/chemischen Prozessfolge Slurry- und Sägerückstände von vereinzelten Wafern.

Vorteile im Überblick:

  • Wafer werden bis zum Trockenprozess durchgängig naß gehalten, elektrostatische Anziehung von Partikeln wird dadurch verhindert
  • Hauptreinigung mit Wasser und einer patentierten Ultraschall-Lösung
  • Präzise Waferführung durch neu entwickelten Rollengang
  • Zuverlässige, reproduzierbare Prozessergebnisse
  • Umweltfreundlicher Prozess, weniger Chemie, ohne Neutralisation
  • Reinigungsprozess ohne Ätzen

Technical Data InWaClean

Related Products

Download cart

Contact person

Daniel Alban
Daniel Alban
Osteuropa, Russland, Türkei, Ukraine, Mittlerer Osten, Afrika, Süd Asien
Phone
+49 7723 9313-645
E-Mail
daniel.alban@rena.com

Contact person

Christian Peter
Christian Peter
Vertrieb Solar - Ost Asien, Südost Asien
Phone
49 7723 9313-136
E-Mail
christian.peter@rena.com

Contact person

Konrad Vosteen
Konrad Vosteen
Westeuropa/EU, Nordamerika, Südamerika
Phone
+49 7723 9313-691
E-Mail
Konrad.Vosteen@rena.com
@ RENA
RENA Technologies GmbH | Höhenweg 1 | D-78148 Gütenbach | Tel. +49 7723 9313-0 | info@rena.com