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Glossar

ALD

Atomic Layer Deposition - Abscheidung von einzelnen Atomlagen

AR-Schicht

Die Abkürzung AR steht für Anti-Reflexions-Schicht.

Die AR-Schicht ist notwendig, damit mehr Licht in die Zelle eindringt, wohindurch die Effizienz der Zelle erhöht wird.

Aspektverhältnis

"Beschreibt das Verhältnis aus der Höhe/Tiefe einer Struktur
zu ihrer kleinsten Ausdehnung."

Aufschwimmen

Durch gasförmige Reaktionsprodukte können dünne Wafer an die Oberfläche Aufschwimmen.

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