湿法化学清洁与蚀刻工艺应用运行十分高效，包括冲洗及干燥。RENA 批量喷淋系统设计用于酸与碱。单室可组合多达五道工艺；这带来巨大的效率与工艺优化潜力。操作员不会直接接触化学品，保障工艺安全。