The wet processing company

Batch S

用于半导体生产的湿法工作台

RENA Batch S 湿法工作台为所有湿法化学生产工艺提供灵活而紧凑的平台。可自由配置的工艺分析软件实现对整个生产过程的广泛控制。凭借集成式主电器柜,该湿法工作台既减小了占地面积,又缩短了安装时间。此外,还能通过巧妙的模块化设计实现工艺专属调整。RENA Batch S 湿法工作台符合 SEMI 标准,满足可达 ISO 2 级洁净室的严苛要求。因此,它是用于集成电路 (IC)、半导体器件、微机电系统 (MEMS) 以及光电子技术和医疗技术领域生产工艺的出色平台。

 

客制化与产量优化

RENA Batch S 湿法工作台让客户精确掌控所有生产工艺,先进的排程和现代的吞吐量模拟为此提供保证。可自由配置的软件依情况控制生产过程中的每个工作站以及对产品的自动化分析。同时,客户可自由选择是借助标准化系统还是利用适合创新型生产工艺的高度个性化系统。

RENA Batch S 湿法工作台可在有需要时轻松划分为模块,以降低空运或海运的难度并减少安装工作量。集成式开关柜有助于快速调试和减少所需占地面积。

RENA Batch S 湿法工作台的优势一览

  • 先进的定制化和产量优化
  • 通过可自由配置的软件进行过程监控和分析
  • 集成式电气柜
  • 洁净室等级可达 ISO 2
  • 适用于 100 至 300 mm(4" 至 12")的圆形基材和光罩
  • 用于High Profile Carrier、Low Mass Carrier和carrierless的搬运系统
  • 大批量生产
  • 根据 SEMI 标准制造
  • 工艺灵活性高
  • 模块化设计
  • 灵活的输入输出台配置
  • 方便维护的设计
  • 占地面积小
  • 易于运输和安装

产品视频

销售经理
Bernard Winker
负责 :
全球