零件清洗

 

RENA 零件清洁用湿法工艺设备,为客户确保超高效清洁工艺。我们旨在消除制品颗粒,控制污染并优化工艺效果。

 

 

Solano 半自动清洁系统有助于您对半导体市场中所有常见片盒、箱、SMIF-Pod、FOUP、FOSB 类型作出污染控制。 优化型高温 DIW 喷淋清洁系统通过永久旋转传送带辅助,实现良好的清洁结果。如有需要,可选择添加表面活性剂(清洁剂)。通过快速离心力与集成式 HEPA 过滤单元供应的优质热风干燥。定期清洁可有效减少产品上方与内部的颗粒及金属污染。

 

提高产量——消除污染。

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