Solano I

Solano I 是一款用于最高 200mm 应用的清洁系统,适合所有常见类型的盒子、箱子以及 SMIF-Pod。它以半自动方式工作,帮助您控制污染。持续转动的传送带结合优化型高温 DIW 喷淋清洁系统实现出色的清洁效果。它还可以按需添加表面活性剂(清洁剂)。快速的离心力和高质量的热空气供应结合 HEPA 过滤装置实现一体式干燥。定期清洁您的载片装置可有效减少产品内外的颗粒及金属污染。

特点与优势

  • 多达 99 个配方,各带有 20 个清洁步骤
  • 变量数据输入(时间、温度、速度、参数等)
  • 附湿度传感器的热风干燥机
  • 可调速风扇单元用于待机和处理模式
  • 不平衡传感器用于自动关闭
  • 正面操作
  • 照明工艺室
  • 模块化设计实现轻松安装
  • 快速安装、连接与启动
  • 维护与耗材成本低
  • 出色的清洁与干燥性能
  • 晶圆消耗少
  • 工具操作简单
  • 一名操作员可以运行 3 至 4 个系统
  • 拥有成本低

 

选项

  • 外壳依照 FM4910 标准
  • SECS II GEM 界面
  • RFID 或条形码读取
销售经理
Oliver Pohl
负责负责对于以下国家:
全球