Solano 是一款半自动清洁系统，有助于您对所有常见 FOUP 和 FOSB 类型作出污染控制。优化型高温 DIW 喷淋清洁系统通过永久旋转传送带辅助，实现良好的清洁结果。如有需要，可选择添加表面活性剂（清洁剂）。通过快速离心力与集成式 HEPA 过滤单元供应的优质热风干燥。定期清洁可有效减少产品上方与内部的颗粒及金属污染。
特点与优势 多达 99 个配方，各带有 20 个清洁步骤 可变数据输入（时间、温度、速度、参数等） 附湿度传感器的热风干燥机 可调速风扇单元用于待机和处理模式 不平衡传感器用于自动关闭 正面操作 照明工艺室 模块化设计实现轻松安装 快速安装、连接与启动 维护与耗材成本低 维护与耗材成本低 晶圆消耗少 工具操作简单 一名操作员可以运行 3 至 4 个系统 拥有成本低 选项 外壳依照 FM4910 标准 SECS II GEM 界面 RFID 或条形码读取
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