Solano

 

Solano 是一款半自动清洁系统,有助于您对所有常见 FOUP 和 FOSB 类型作出污染控制。优化型高温 DIW 喷淋清洁系统通过永久旋转传送带辅助,实现良好的清洁结果。如有需要,可选择添加表面活性剂(清洁剂)。通过快速离心力与集成式 HEPA 过滤单元供应的优质热风干燥。定期清洁可有效减少产品上方与内部的颗粒及金属污染。

 

特点与优势

  • 多达 99 个配方,各带有 20 个清洁步骤
  • 可变数据输入(时间、温度、速度、参数等)
  • 附湿度传感器的热风干燥机
  • 可调速风扇单元用于待机和处理模式
  • 不平衡传感器用于自动关闭
  • 正面操作
  • 照明工艺室

 

  • 模块化设计实现轻松安装
  • 快速安装、连接与启动
  • 维护与耗材成本低
  • 维护与耗材成本低
  • 晶圆消耗少
  • 工具操作简单
  • 一名操作员可以运行 3 至 4 个系统
  • 拥有成本低

 

选项

  • 外壳依照 FM4910 标准
  • SECS II GEM 界面
  • RFID 或条形码读取
敬请联系!
电话 : +49 7723 9313-0