干燥工艺对最终晶圆质量至关重要。可能影响干燥速度、产品几何形状调整及洁净度水平等变量。视工艺而定，适合不同干燥机设置。RENA 向不同湿法加工工具提供独立型解决方案以及集成式干燥机。