ISODry – 仅 IPA

 

RENA ISODry 可集成至 RENA 溶剂浸洗平台。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。

 

特点与优势

  • 减少集成干燥的成本
  • 为采用单晶圆 IPA 干燥的用户保留 POR
  • 晶圆提拉器确保缩小接触面积
  • 集成热交换器产生的热氮气,降低能源成本
  • 连续式 IPA 再循环
  • 相比其他典型的蒸汽或真空干燥机,减少 IPA 用量
  • 降低排放要求
  • 每个晶圆的 IPA 使用与其他 Marangoni 干燥机类似
  • 借助 IDX Flexware 的高级软件控制能力
  • 150 nm 级的颗粒量 < 20
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