RENA COMPASS 旋转冲洗干燥机是一流的晶圆干燥机，用于冲洗之前工艺步骤的残留物，然后干燥晶圆。专有设计与技术搭配 CDA 用于非工艺功能，使氮气使用的停歇时间减少 50%。RENA COMPASS SRD 系列设计旨在减少运行成本，同时超越现有洁净度、干燥度及颗粒规范，带来目前 SRD 配备的先进功能。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。