The wet processing company

InTex®

适合多晶硅制绒的高产能解决方案,运营成本低

RENA InTex® 全自动处理设备用于经济型多晶硅 (mc-Si) 制绒。酸性湿法化学工艺允许对砂浆线及金刚石线切割的多晶硅制绒。其基于 RENA NIAK 链式平台。

特点和优势

  • 针对多晶硅的全自动湿法化学链式处理系统
  • 使用针对多晶硅的酸性 (HF/HNO3) 制绒工艺
  • 使用 RENA dwTEX 制绒添加剂,可相容金刚石线切割的多晶硅
  • 集成冲洗与干燥晶圆
  • 产能高达 5000 片/小时
  • 可相容 M0、M1、M2 与 M4 硅片尺寸
  • 精确的计量系统,实现稳定的槽液组成
  • 借助 Bleed + Feed(分供)功能延长蚀槽寿命
  • 破损率业界最低
  • 基于 RENA NIAK 链式处理平台
  • 运行时间长
  • 易于维护

选项

  • MES 接口 (SECS/GEM)
  • 用于化学品供应的介质柜
  • 针对化学品排出/废水的废物泵出站
  • 工艺控制传感器(例如 pH 值、电导率)
  • 单面制绒 (SST) 更新

产品宣传片