Advancer

 

Die Nassbearbeitungssysteme der Plattform „Advancer“ sind robuste, praxiserprobte Einschrittlösungen. Leicht konfigurierbarer, ein Prozess, ein Spültank mit einer seitenwandigen Linearroboterapplikation. Alle Halbleiterprozesse sind integrierbar und auf dem neuesten Stand der Technik. Der Advancer ist äußerst platzsparend und wartungsfreundlich. Die IDX Flexware Software bietet viele vorteilhafte Funktionen für die Prozesssteuerung und -überwachung. Alle RENA-Systeme sind verfügbar und konform zur SECS-/GEM-Schnittstelle des Betriebsstättenhosts.

 

Es gibt drei „Advancer-“Systeme: Gemini, Classic und Micro.

Funktionen und Vorteile

  • Trocken-zu-Trockenfähigkeit
  • Einstufiger Prozess und Spüldesign
  • Handhabung von Einzel- oder Doppelkassetten
  • Wafergrößen von 50 bis 200 mm
  • 150 mm und 200 mm Verarbeitung ohne Änderungen
  • IDX Flexware Process Control Software
  • Intuitiver HMI-Touchscreen
  • Äußerst wartungsfreundlicher seitlich montierter Roboter
  • SECS-/GEM-Schnittstellenoptionen
  • Flexibel und upgradefähig
  • An Kundenspezifikation angepasst
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