Die Nassbearbeitungssysteme der Spray-Batch-Plattform für Säuren und Lösungsmitteltechnologie basieren auf einem geschlossenen Einkammersystem. Die Spray-Batch-Systeme finden in allen Bereichen der Halbleiterbranche Anwendung. Einfach konfigurierbar für Ihre Bedürfnisse auf kleinstem Raum.

 

Die IDX Flexware Software bietet viele vorteilhafte Funktionen für die Prozesssteuerung und -überwachung.

Alle RENA-Systeme sind verfügbar und konform zur SECS-/GEM-Schnittstelle des Betriebsstättenhosts.