The wet processing company

Batch

Hoch zuverlässige Batch-Produktionslösungen

Als weltweiter Innovations- und Technologieführer im Bereich der nasschemischen Oberflächenbehandlung treibt RENA die Entwicklung der Prozess-Automation für die Wafer- und Chip-Herstellung voran. Die Produkte reichen von Standardlösungen mit Prozessgarantie für die zuverlässige Serienproduktion bis hin zu Anlagen und Prozessen, die auf spezielle Kundenanforderungen eingehen.

 

Manuelle und automatische Nassbänke 

Die manuellen und automatischen RENA Nassbänke beherrschen alle Nassprozesse der Front-End-of-Line- (FEOL) und Back-End-of-Line-(BEOL)-Fertigung. Sie erfüllen die hohen Erwartungen, die Produzenten von CMOS, MEMS, OLED und LED sowie der Optoelektronik an ihre Produktionsumgebung stellen.

Das durchdachte, modulare Design der RENA Nassbänke zeichnet sich durch eine geringe Standfläche aus, erleichtert eine schnelle Inbetriebnahme und erlaubt rasche, prozessspezifische Anpassungen zur Optimierung der fortlaufenden Produktion. 

Zuständig :
Weltweit