The wet processing company

Batch S

Nassbank zur Halbleiterfertigung

Die RENA Batch S Nassbank bietet eine flexible und kompakte Plattform für alle nasschemischen Fertigungsprozesse. Eine frei konfigurierbare Software zur Prozessanalyse bietet weitreichende Kontrollmöglichkeiten über den gesamten Produktionsablauf hinweg. Durch den integrierten Hauptschaltschrank beansprucht die Nassbank wenig Platz und nur eine geringe Installationszeit. Zudem erlaubt sie prozessspezifische Anpassungen durch ein durchdachtes und modulares Design.

Die RENA Batch S Nassbank erfüllt die hohen SEMI-Anforderungen für Reinräume bis ISO Klasse 2. Sie ist damit eine hervorragende Plattform für Fertigungsprozesse von integrierten Schaltkreisen (ICs), Halbleiterbauelementen, mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) sowie der Optoelektronik, Kunststoff-Elektronik und Medizintechnik.

 

Ablaufplanung und Durchsatz-Simulation 

Kunden erhalten mit der RENA Batch S Nassbank eine präzise Kontrolle über alle Fertigungsprozesse, gesichert durch eine fortschrittliche Ablaufplanung und moderne Durchsatz-Simulation. Frei konfigurierbare Software steuert situationsbedingt jede Station im Herstellungsprozess wie auch die automatisierten Analysen der Produkte. Dabei steht den Kunden frei, ob sie auf standardisierte Systeme zurückgreifen oder hoch individualisierte Systeme für innovative Produktionsverfahren nutzen.

Die RENA Batch S Nassbank lässt sich bei Bedarf einfach in Module unterteilen, was sowohl den Transport per Luft- oder Seefracht als auch den Installationsaufwand vor Ort vereinfacht. Integrierte Schaltschränke unterstützen die schnelle Inbetriebnahme und reduzieren die benötigte Stellfläche.
 

Die Vorteile der RENA Batch S Nassbank im Überblick

  • fortschrittliche Ablaufplanung und Durchsatz-Simulation
  • Prozessüberwachung und Analyse durch frei konfigurierbare Software
  • integrierte Schaltschränke
  • Einsatz bis Reinraumklasse ISO 2
  • geeignet für runde Substrate von 100 bis 300 mm (4" bis 12") und Masken
  • Handlingsystem für Standard-Carrier, Low Mass Carrier und Carrierless
  • Prozessierung von verdichteten Losen
  • hergestellt nach SEMI Standards
  • hohe Prozessflexibilität
  • modulares Design
  • flexible Ein- und Ausgabe
  • wartungsfreundliches Design
  • geringe Standfläche
  • einfacher Transport- und Installationsaufwand

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