Nassbearbeitungsanlagen für Teilereinigung

 

RENAs Nassbearbeitungsanlagen für die Teilereinigung gewährleisten einen sehr effizienten Reinigungsprozess für unsere Kunden. Unser Hauptziel ist die Beseitigung der Partikel auf Ihrem Produkt, um Kontaminationen zu steuern und die Prozesseffizienz zu optimieren.

 

 

Der Solano ist ein halbautomatisches Reinigungssystem, das Sie bei der Kontaminationssteuerung aller im Halbleitermarkt gängigen Arten von Kassetten, Boxen, SMIF-Pods, FOUPs und FOSBs unterstützt. Ein optimiertes Hot-DIW-Sprühreinigungssystem, unterstützt durch die permanente Rotation des Karussells, erzielt beste Reinigungsergebnisse. Falls gewünscht durch Zugabe eines Tensids (Reinigungsmittels), optional. Die Trocknung erfolgt durch eine schnelle Zentrifugalkraft und hochwertige Heißluft, die durch eine integrierte HEPA-Filtereinheit zugeführt wird. Eine regelmäßige Reinigung ermöglicht eine effiziente Reduzierung von Partikel- und Metallverunreinigungen auf und in Ihren Produkten.

 

Sorgen Sie für eine bessere Ausbringung — beseitigen Sie Verunreinigungen.

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