Single-Wafer-Bearbeitung

 

Die Bearbeitung einzelner Wafer verbessert die Prozesssteuerung und ermöglicht es Unternehmen, schneller auf Marktchancen zu reagieren. Kleine und mittlere Volumina können wirtschaftlich und effizient abgedeckt werden. Die platzsparende Anlage ist für Forschungs- und Entwicklungszwecke oder für die Kleinserienfertigung geeignet. Bei kritischem Time-to-Market können Anlagenbesitzer von der Möglichkeit schneller Änderungen, niedriger Kosten und kurzen Rüstzeiten im Vergleich zur Batch-Verarbeitung profitieren.

 

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