ISODry – nur IPA

 

RENA ISODry lässt sich in die Lösungsmittel-Immersionsplattformen von RENA integrieren. Der gesamte Prozess wird mittels der exklusiven IDX Process Control Software von RENA überwacht und gesteuert.

 

Funktionen und Vorteile

  • Senkt die Kosten für integrierte Trocknung
  • Sorgt für POR für Anwender mit Single-Wafer-IPA-Trocknung
  • Waferhebel sorgen für minimale Kontaktflächen
  • Integriertes heißes N2 erzeugt durch Wärmetauscher sorgt für geringere Energiekosten
  • Anhaltende IPA-Rezirkulation
  • Niedrigerer IPA-Verbrauch im Vergleich zu anderen typischen Dampf- oder Vakuumtrocknern
  • Niedrigere Anforderungen an die Abluft
  • Der IPA-Verbrauch je Wafer ist ähnlich zu anderen Marangoni-Trocknern
  • Fortschrittliche Software-Steuerungsmöglichkeiten mit IDX Flexware
  • Partikelleistung < 20 bei 150 nm
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