Der RENA VaporDryer integriert den IPA-Trocknungsprozess mit Reinigung und Spülung zu einem einstufigen Verfahren. Er ist eine ideale Lösung für die Verdrängung von Wasser aus Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und Through Silicon Vias (TSVs) sowie für die effektive Trocknung komplexer Oberflächen. VaporDry kann in RENA-Batch-Immersionsplattformen integriert werden. Dieser Trockner kann sowohl für FEoL- als auch für BEoL-Anwendungen eingesetzt werden. Der gesamte Prozess wird durch die fortschrittliche IDX Flexware Prozesssteuerungssoftware von RENA überwacht und gesteuert.