Dampftrockner

 

Der RENA VaporDryer verbindet den IPA-Trocknungsprozess mit Reinigen und Spülen und ermöglicht damit einen Einschrittprozess. Er entfernt Wasser von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und TSV, trocknet effektiv die komplexesten Oberflächen und kann in RENAs Lösungsmittel-Immersionsplattformen integriert werden. Der gesamte Prozess wird mittels der exklusiven IDX Process Control Software von RENA überwacht und gesteuert.

 

Funktionen und Vorteile

  • FEOL- und BEOL-Wafer-Trocknung
  • Trocknet hydrophobe und hydrophile Oberflächen ohne Schäden durch Haftreibung
  • Ionische Verunreinigungswerte < 1E10
  • Partikelleistung < 20 bei 0,12 μm
  • 85 % weniger IPA-Verbrauch im Vergleich zu Dampftrocknern
  • Niedrigere Kosten im Vergleich zu Marangoni-Trocknern
  • Vollständig trockene Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und einer TSV-Tiefe von > 750 μm
  • IPA-Dampfkondensator für IPA-Rückgewinnung
  • Fortschrittliche Leistungs- und Prozesssteuerung mit IDX-Flexware
  • CE-Zertifizierung
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