The wet processing company
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03. 11. 2020

Fortschrittliche Prozesslösungen für Branchenführer

Durch die schnelle Identifikation kritischer Anforderungen konnten die technischen Vertriebsteams von RENA NA Aufträge im Wert von mehreren Millionen US-Dollar sichern. Aufgrund seiner Prozesserfahrung war das Unternehmen in der Lage, Systeme bereitzustellen, die die Anforderungen der jeweiligen Kunden souverän erfüllten.

Ein global tätiger Hersteller von Aufnahmeköpfen, der eine brandneue Pilotlinie für 200-Millimeter-Wafer aufbaut, benötigte einen Lieferanten, der eine große Anzahl von Nassbearbeitungsmaschinen fertigen kann. Dabei reichen die Anwendungsbereiche der Anlagen von RENA NA vom Nassätzen über Metall-Lift-Off, Fotolackentwicklung, Marangoni-Trocknen und IPA-Dampftrocknung bis zur Trocknung mit dem Spin Rinse Dryer. Um die Deadlines für die Expansion des Kunden zu erfüllen, waren kurze Lieferzeiten entscheidend.

Zudem erhielt RENA einen weiteren Auftrag im Wert von über 1 Million US-Dollar für die neue Micro-/Mini-LED-Produktreihe eines Digitalgeräteherstellers. Dank der umfassenden Erfahrung von RENA NA im Bereich von Au- und TiW-Ätzanwendungen bietet die mit TruEtch-Tanks für Au und Ti ausgestattete halbautomatische Nassbank Revolution eine gute Gleichmäßigkeit beim Ätzen, einen größeren Durchsatz (Wafer/Stunde) und ist kostengünstiger als die Single-Wafer-Bearbeitungsalternativen für das Nass- oder Trockenätzen.

Scott Tice, Director of Process Applications Engineering von RENA NA, erklärt: „Der Micro-/Mini-LED-Markt zählt derzeit zu den am rasantesten wachsenden Verbindungshalbleitermärkten. Die Fertigung dieser Teile erfordert präzises Ätzen größerer Mengen bei möglichst niedrigen Kosten. Die Nassbank Revolution mit ihren patentierten Tanks mit TruEtch-Technologie bietet für diesen wachsenden Markt die passende Leistung zum passenden Preis. In unserem Anwendungslabor in Albany (Oregon, USA) haben wir die Erfahrungen und Daten gewonnen, die unsere TruEtch-Fähigkeiten für das Präzisionsätzen von Au- und Ti-Schichten belegen. Diese Bimetall-Kombinations-Ätzanwendung ist für den Herstellungsprozess dieser Teile von wesentlicher Bedeutung. RENA ist gut positioniert und freut sich sehr über die Zusammenarbeit mit führenden Unternehmen im Rennen um die Marktführerschaft in der Micro-/Mini-LED-Branche.“

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