Glas Wafer Bearbeitung
Wafer aus Glas sind die Grundlage der modernen Mikrosystemtechnik. Glas bietet zahlreiche Vorteile wie hohe chemische und thermische Beständigkeit, eine gute elektrische Isolierfähigkeit, Biokompatibilität, einen breiten optischen Übergangsbereich sowie eine geringe optische Absorption. Aufgrund dieser Eigenschaften finden Glaswafer in konventionellen Mikrofabrikationsprozessen breite Anwendung.