Mithilfe von Mikrofabrikationsprozessen lassen sich in einem Glaswafer verschiedenste Strukturen erzeugen. Von wesentlicher Bedeutung für die Erzielung einer guten Qualität beim Strukturierungsprozess ist der anfängliche Reinigungsprozess. RENA hat verschiedene Batch-Reinigungsverfahren im Angebot, die auf die Anforderungen der Kunden, den Grad und die Art der Verschmutzung, den Glastyp und die entsprechende spätere Verwendung abgestimmt sind.

In eine Prozesssequenz zur Strukturierung einer Chromschicht können Prozessschritte wie Chromätzen integriert werden. RENA bietet auch Anlagen für das Ätzen von Metallen, die häufig in einem Fabrikationsprozess genutzt werden, wie beispielsweise Gold und Nickel. Je nach Kunde können Anlagen von RENA auch Bäder für das Glasätzen und das Strippen von Fotolack umfassen.

Die Anzahl an Prozessen lässt sich frei an den erforderlichen Durchsatz und die spezifischen Kundenanforderungen anpassen.