Äußerst zuverlässige Batch-Produktionslösungen

 

Als Weltmarktführer in Sachen Innovation und Technologie im Bereich der nasschemischen Oberflächenbehandlung treibt RENA die Entwicklung von Prozessautomatisierung für die Wafer- und Chip-Produktion voran. Die Produktpalette reicht von Standardlösungen mit Prozessgarantie für die zuverlässige Serienproduktion bis hin zu Systemen und Verfahren, die spezifische Kundenanforderungen erfüllen.

 

 

Manuelle und automatische Nassbanken

RENAs manuelle und automatische Nassbanken beherrschen alle Nassprozesse in der Front-End-of-Line- (FEOL) und Back-End-of-Line- (BEOL) Produktion. Sie erfüllen die hohen Erwartungen, die Hersteller von CMOS, MEMS, OLED, LED und Optoelektronik an ihre Produktionsumgebung haben.

Der durchdachte, modulare Aufbau der RENA-Nassbanken zeichnet sich durch eine geringe Stellfläche aus, ermöglicht eine schnelle Inbetriebnahme sowie schnelle, prozessspezifische Anpassungen zur Optimierung der laufenden Produktion.

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