Advancer
Die Nassbearbeitungssysteme der Plattform „Advancer“ sind robuste, praxiserprobte Einschrittlösungen. Leicht konfigurierbarer, ein Prozess, ein Spültank mit einer seitenwandigen Linearroboterapplikation. Alle Halbleiterprozesse sind integrierbar und auf dem neuesten Stand der Technik. Der Advancer ist äußerst platzsparend und wartungsfreundlich. Die IDX Flexware Software bietet viele vorteilhafte Funktionen für die Prozesssteuerung und -überwachung. Alle RENA-Systeme sind verfügbar und konform zur SECS-/GEM-Schnittstelle des Betriebsstättenhosts.
Es gibt drei „Advancer-“Systeme: Gemini, Classic und Micro.