大批量玻璃面板湿法加工

RENA BatchGlass P3 是一款先进的碱性玻璃面板处理平台,专为尖端湿法工艺而设计,助您体验创新。该平台可处理尺寸高达 510 x 515 毫米的玻璃芯基板,例如用于 TGV 应用的面板,并具备卓越的清洗和干燥性能。作为我们玻璃湿法处理产品线中最先进的型号,RENA BatchGlass P3 在产能、均匀性和优化的化学品消耗方面树立了新的行业标准,确保了卓越的效率和可持续性。

其主要特性包括:FOUP-to-FOUP 处理功能,可无缝集成到现有制造环境中;以及 GEM300 MES 系统,可简化晶圆厂操作并最大限度地提高生产效率。无论您是扩大生产规模以实现大批量生产,还是改进中试生产线,该设备都能为面板处理提供面向未来的解决方案。其模块化设计便于扩展,确保其能够随着您在封装领域的生产需求而不断发展。

特点与优势

  • 加工最大 600 x 600 mm 大尺寸面板
  • 优化槽设计和流量确保出色蚀刻均匀性
  • 优化占用面积和紧凑设计
  • 全天候运行且工艺升级简单
  • 最高表面清洁度且具有优化的预清洁和后清洁程序
敬请联系!
电话 : +49 7723 9313-0