溶剂清洁、光刻胶剥离和显影工艺应用运行十分高效，包括冲洗及干燥。RENA 批量喷淋系统设计用于溶剂。单室可组合各种类型的溶剂；这带来巨大的效率与工艺优化潜力。操作员不会直接接触溶剂，保障工艺安全。