The wet processing company

monoTEX

monoTEX®

IPA-freie alkalische Texturierung für monokristalline Silizium-Wafer

monoTEX® ist für die alkalische Texturierung das beste Entspannungs- und Benetzungsmittel seiner Klasse. Im Gegensatz zum gängigen Texturierungsmittel IPA ist RENA monoTEX® nicht entflammbar und kann bei Temperaturen eingesetzt werden, die weit unter dem Siedepunkt seiner Komponenten liegen. Es zeichnet sich durch ein nahezu lineares Verhalten bei Änderungen von Temperatur und Laugenkonzentration aus und ermöglicht die Variierung der Pyramidengrößen mittels Anpassung der Prozessparameter.

Funktionen und Vorteile

  • IPA-frei
  • In der Produktion bewährt: bereits > 1 Milliarde Wafer verarbeitet (> 20 GW)
  • Prozesstemperatur unter den Siedepunkten
  • Kein VOC und kein Einsatz von explosionsgefährlichen Flüssigkeiten
  • Großes Prozessfenster
  • Kurze Prozesszeit, alkalische Standardtexturierung unter 7 Minuten
  • Einheitliche Pyramiden (2 – 5 μm). Variierung der Größe durch Rezepturanpassung möglich
  • Durchschnittliche Reflektion < 12,5 % im Bereich von 400 – 1100 nm
  • Lineares Verhalten bei Parameteränderungen
  • Kosteneffizienter Einsatz von Additiven
  • Dank Vorreinigung von RENA Nutzungsdauer von > 250 Durchläufen pro Badansatz
  • Umweltfreundlich durch geringe Belastung des Abwassers und biologische Abbaubarkeit
Leiter After-Sales Support
Andreas Morys
Zuständig :
Worldwide