Was ist eine Fab?
Eine Fab (fabrication plant) ist eine Produktionsstätte, auch Halbleiter-oder Chipfabrik genannt, in der rohe Siliziumscheiben zu integrierten Schaltkreisen (IC) für die Halbleiter- und Mikroelelektronikindustrie sowie Solarindustrie produziert werden.
Die Oberfläche der Wafer (wie z.B. Siliziumkarbid-Wafer/SiC Wafer, Glass Wafer, wird in einem Reinraum weiter verarbeitet. Um Staub und Vibrationen zu vermeiden und die Temperatur und Luftfeuchtigkeit innerhalb eines bestimmten engen Bereichs zu halten, ist eine Halbleiterfabrik und Solarzellenfabrik immer mit einem Reinraum ausgestattet.
Wo werden die RENA Technologies Anlagen eingebaut?
Die Nassbänke von RENA werden vollautomatisch, halbautomatisch oder manuell in die Fab integriert. Je nach Anforderung stellt RENA Technologies Batch-, Einzelwafer- und Sprühanlagen her, die für das nasschemische Ätzen, Reinigen und Strippen von Wafern zuständig sind. Die Oberflächenbehandlungsanlagen sind für die Verarbeitung einer breiten Palette von Halbleitermaterialien ausgelegt, darunter Silizium (Si), Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN), Galliumarsenid (GaAs) und Indiumphosphid (InP).
RENA Nassprozesslösungen zeichnen sich durch eine präzise Prozesssteuerung, einen hohen Durchsatz und eine geringe Stellfläche aus. Die Stellfläche im Reinraum ist ein enormes Kriterium bei der Planung einer Fab.
