Was ermöglicht das SECS/GEM?
In einer automatisierten Produktionsfirma kann die Schnittstelle die Verarbeitung von Geräten starten und stoppen, Messdaten erfassen, Variablen ändern und Rezepte für Produkte auswählen. Die Standards SECS/GEM ermöglichen all dies auf definierte Weise.
Sind die RENA Nassanlagen mit dieser Schnittstelle ausgestattet?
RENA Technologies liefert hochmoderne Lösungen für die Nassbearbeitung von Halbleitern, Glas sowie Solarzellen, die Wafer ätzen, Wafer reinigen und Wafer strippen. Alle RENA Technologies Nassbänke können mit der SECS/GEM-Schnittstelle ausgestattet werden.
