Revolution

 

Das Nassbearbeitungssystem „Revolution“ ist eine sehr flexible Nassbank für die Mehrschrittbearbeitung. Leicht konfigurierbar für alle halbautomatischen Anwendungen. Die „Revolution“-Plattform bietet bis zu 5 Prozesstanks, die um einen drehbaren Roboterarm angeordnet sind.

 

Für Ihre Anwendungen stellt dies die optimale, kostengünstigste Lösung für mehrschrittige Prozesse dar. Die IDX Flexware Software bietet viele vorteilhafte Funktionen für die Prozesssteuerung und -überwachung. Mit einem stabilen integrierten drehbaren Roboterarmsystem und speziellen Prozesstankkonfigurationen bietet RENA eine leistungsstarke und vielseitige Plattform.
Bei RENA-Anlagen steht der Platzbedarf stets im Vordergrund und wird möglichst gering gehalten, natürlich alles wartungsfreundlich.„Revolution“ bietet auch die Trocknungslösung Genesis-Marangoni-Trocknung für die Dry-In und Dry-Out-Bearbeitung.

Alle RENA-Systeme sind verfügbar und konform zur SECS-/GEM-Schnittstelle des Betriebsstättenhosts.

Funktionen und Vorteile

  • Trocken-zu-Trockenfähigkeiten
  • Wafergrößen von 100 bis 200 mm
  • IDX Flexware Control Software
  • Mehrschritt-Sequenzen
  • Verschiedene proprietäre Technologien
  • HMI-Touchscreen
  • Stabiler Roboterarm
  • SECS-/GEM-Schnittstellenoptionen
  • Integrierter Reinraum als Option
  • Edelstahlversion für Lösungsmittelanwendungen
  • Flexibel und upgradefähig
  • An Kundenspezifikation angepasst
  • Reduzierter Einsatz von Chemikalien und DI-Wasser
  • Niedrigere Anlagenkosten
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