COMPASS-Spin-Rinse-Trockner, SRD

 

RENA COMPASS-Spin-Rinse-Trockner sind hochwertige Wafer-Trockner, die Rückstände aus vorherigen Prozessschritten abspülen und die Wafer anschließend trocknen. Das proprietäre Design und die Technologie in Verbindung mit dem Einsatz von CDA für prozessfremde Funktionen reduzieren die Leerlaufzeit des Stickstoffeinsatzes um 50 %. Die RENA-COMPASS-SRD-Familie wurde so konzipiert, dass er die Betriebskosten senkt und gleichzeitig alle Anforderungen an die Sauberkeit, Trockenheit und Partikel übertrifft. Unter den heutigen SRD-Modellen ist sie die Anlage mit den fortschrittlichsten Funktionen. Der gesamte Prozess wird mittels der exklusiven IDX Process Control Software von RENA überwacht und gesteuert.

 

Funktionen und Vorteile

  • Wet-In-Dry-Out-Prozess
  • Geringe Partikelleistung
  • Ausgezeichnete Vibrations- und Statiksteuerung
  • 10 Düsen DI-Wasser-Sprühverteiler
  • Programmierbarer Sollwert für N2-Heater und Temperaturüberwachung
  • Programmierbare Bowl-Blanket-Heater und Temperaturüberwachung 
  • Bürstenloser DC-Motor mit Encoder für Drehzahl- und Positionsregelung
  • Widerstandsanzeige
  • Rotoren für Hoch- und Niederprofilkassetten 50-300 mm (2-12“ Wafer) und Klemmen für spezielle Anwendungen
  • Fortschrittliche Leistungs- und Prozesssteuerung mit IDX-Flexware
  • 10,4“-Farb-Touchscreen-Benutzeroberfläche
  • Hostkommunikation
  • FM4910-Konformität
  • CE-Zertifizierung
  • Erhältlich als Benchtop-, Standalone- und Dual-Standalone-Version (pulverbeschichtete und Edelstahl-Ausführung)
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