The wet processing company

半导体

半导体生产的创新解决方案

RENA Technologies GmbH 作为全球技术领先者,提供用于湿法化学表面处理的集成型生产设备。其中包括用于生产各种半导体产品的自动与手动湿法工艺设备。该创新解决方案应用于产品级晶圆生产、芯片和 MEMS 制造、电镀各种基材及卷对卷加工的前端和后端工艺中。

 

自动与手动湿法工艺设备

在手动 RENA 湿法工艺设备中,芯片制造商能按照可精确调节和记录的工艺参数生产小/超小批量。因此,它可为研发部门提供重要的特性参数,用以研发新产品并满足个性化客户要求。

在自动 RENA 湿法工艺设备中,芯片与 MEMS 制造商可进行具备工艺保障的连续批量生产。创新型生产机器涵盖前道工艺 (FEOL) 与后道工艺 (BEOL) 生产的所有湿法工艺。

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