one process and one rinse tank with a sidewall linear robot application.

Advancer Gemini Wet Bench

双工艺、单步浸没湿法台

Advancer Gemini 湿法台是一种双工艺、双机器人湿法处理系统。
它是目前最具成本效益的平台之一。

Advancer Gemini 的双重处理不仅共享 IDX Flexware 控制系统,还共享所需的配套设施。在缩小整体占地面积的同时,将处理能力提高一倍,Advancer Gemini 以相对较低的成本提供双倍的优势。

Advancer Gemini 湿法台具备 Advancer Classic 湿法台的所有功能,但每平方米的吞吐量提高一倍。此外,Advancer Gemini 湿法台还可以配置为在单个模块内进行顺序工艺步骤。

特点与优势

  • 双步骤处理与冲洗设计
  • 单/双卡匣兼容
  • 50 mm 至 200 mm 晶圆尺寸
  • 6″ 与 8″ 处理无需改动
  • IDX Flexware 工艺控制软件
  • 直观的 HMI 触控屏
  • 两个侧置可接入机器人
  • 符合 SECS/GEM 标准
  • 工厂主机支持
  • UL 508A 电气认证
  • 每模块双工艺槽
  • 共享配套设施
  • 共享电子系统
  • 单一控制 I/O 系统
  • 占地面积更小
  • 改进的工艺控制
  • 降低 DI 水消耗
  • 降低化学品消耗
  • 延长槽体寿命
  • 低拥有成本
  • 维护友好
  • 安装简便
敬请联系!
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