Advancer Gemini Wet Bench
双工艺、单步浸没湿法台
Advancer Gemini 湿法台是一种双工艺、双机器人湿法处理系统。
它是目前最具成本效益的平台之一。
Advancer Gemini 的双重处理不仅共享 IDX Flexware 控制系统,还共享所需的配套设施。在缩小整体占地面积的同时,将处理能力提高一倍,Advancer Gemini 以相对较低的成本提供双倍的优势。
Advancer Gemini 湿法台具备 Advancer Classic 湿法台的所有功能,但每平方米的吞吐量提高一倍。此外,Advancer Gemini 湿法台还可以配置为在单个模块内进行顺序工艺步骤。