one process and one rinse tank with a sidewall linear robot application.

Advancer Gemini Nassbank

Dualprozess-, Einstufige Immersions-Nassbank

Der Advancer Gemini Nassbank ist ein Dualprozess-, Dualroboter-Nassverarbeitungssystem.
Es gehört zu den kosteneffizientesten Plattformen, auf dem Markt.

Die Dualverarbeitung des Advancer Gemini nutzt nicht nur das IDX Flexware-Steuerungssystem, sondern auch die erforderlichen Versorgungseinrichtungen gemeinsam. Während die Verarbeitungskapazität bei einer insgesamt reduzierten Stellfläche verdoppelt wird, bietet der Advancer Gemini doppelt so viele attraktive Funktionen zu vergleichsweise niedrigen Kosten.

Die Advancer Gemini Nassbank verfügt über alle Funktionen der Advancer Classic Nassbank, erzeugt dabei jedoch die doppelte Durchsatzleistung pro Quadratmeter. Außerdem kann die Advancer Gemini Nassbank für sequentielle Prozessschritte innerhalb eines einzigen Moduls konfiguriert werden.

Funktionen und Vorteile

  • Zweistufige Prozess- und Spülauslegung
  • Einzel- und Doppelkassettenfähigkeit
  • Wafergrößen von 50 mm bis 200 mm
  • 6″- und 8″-Verarbeitung ohne Änderungen
  • IDX Flexware Prozesssteuerungssoftware
  • Intuitiver HMI-Touchscreen
  • Zwei seitlich montierte, zugängliche Roboter
  • SECS/GEM-konform
  • Fabrik-Host
  • UL-gelistete 508A-Elektrotechnik
  • Zwei Prozesstanks pro Modul
  • Gemeinsam genutzte Versorgungseinrichtungen
  • Gemeinsam genutzte Elektronik
  • Ein einziges Steuerungs-I/O-System
  • Reduzierte Stellfläche
  • Verbesserte Prozesskontrolle
  • Reduzierter DI-Wasserverbrauch
  • Reduzierter Chemikalienverbrauch
  • Verlängerte Tanklebensdauer
  • Niedrige Betriebskosten
  • Wartungsfreundlich
  • Einfache Installation
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