Revolution

 

湿法处理系统“Revolution”是高度灵活的多步骤湿法工作台。可根据任意半自动应用轻松配置。“Revolution”平台可在其中央旋转机器人四周提供多达 5 个工艺槽。

 

对于您的应用来说,这是需要多步骤序列之工艺的低成本理想解决方案。IDX Flexware 软件中有众多有助于工艺控制及监控的功能。借助耐用的集成式旋转机器人系统,RENA 专用工艺槽配置打造出强大的多功能平台。
RENA 设备始终关注如何减少占用空间,当然前提是一切都还需便于维护。“Revolution”亦为干进和干出处理提供 RENA 干燥解决方案——Genesis Marangoni 干燥。

所有 RENA 系统皆可用,符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。

特点与优势

  • 干对干能力
  • 100 mm 至 200mm 晶圆尺寸
  • IDX Flexware 控制软件
  • 多步骤序列
  • 多项专有技术
  • HMI 触控屏
  • 耐用的旋转机器人
  • SECS/GEM 界面选项
  • 可选微环境
  • 不锈钢款适合溶剂应用
  • 灵活可升级
  • 依据客户规范量身打造
  • 减少化学品与去离子水使用
  • 降低设备成本
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