SBA – 批量喷淋酸

 

湿法化学清洁与蚀刻工艺应用运行十分高效,包括冲洗及干燥。RENA 批量喷淋系统设计用于酸与碱。单室可组合多达五道工艺;这带来巨大的效率与工艺优化潜力。操作员不会直接接触化学品,保障工艺安全。

 

特点与优势

  • 降低介质消耗
  • 优化占用面积
  • 单或双片盒处理
  • 高度耐用,便于接近
  • SECS/GEM 界面选项
  • 灵活可升级
  • 提升操作员用户安全
敬请联系!
电话 : +49 7723 9313-0