面向酸和溶剂技术的批量喷淋平台湿法处理系统基于封闭式单室系统。批量喷淋系统用于半导体行业的方方面面。可根据需要轻松配置，占地空间小。

 

IDX Flexware 软件中有众多有助于工艺控制及监控的功能。

所有 RENA 系统皆可用，符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。