Genesis 独立式 Marangoni 干燥机

 

RENA Genesis Marangoni 干燥机集成干燥、清洁与冲洗,实现一站式工艺。借助 RENA Genesis Marangoni 干燥机干燥晶圆,应用晶圆提拉器与集成倾斜功能的专属设计,确保晶圆面在干燥循环中不会接触特氟龙片盒。倾斜功能同样尽量减少晶圆背面的基础。Genesis Marangoni 干燥机兼容纯硅、SiO₂、GaAs、Ge、蓝宝石以及玻璃晶圆。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。

 

改善产量并减少颗粒,RENA Marangoni 干燥机性能出众

特点与优势

  • 手动装载片盒或可选机器人自动化晶圆处理
  • 特氟龙片盒
  • 干燥后基片无水痕
  • 在干燥之前实现化学清洁,无空气接触
  • 干燥工艺期间,不会损坏敏感的光刻胶层
  • 120 nm 级的颗粒量 < 50
  • 干燥疏水与亲水表面
  • 未旋转水流
  • 组合 O3、HF 或 HCl 喷射用于严格洁净应用,实现高品质表面
  • HF 最末应用
  • 典型循环时间 7 至 20 分钟
  • 借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制
  • 主机兼容
  • 集成去离子水过滤选项
  • 可选化学喷射
  • IPA 用量少(每次干燥循环 ≤ 20ml)
  • 可选 IPA 再循环,实现更可靠的颗粒效果
  • 面向 50-200 mm(2 至 8 英寸晶圆)尺寸的晶圆解决方案
  • CE 认证
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