SRD - COMPASS 旋转冲洗干燥机

 

RENA COMPASS 旋转冲洗干燥机是一流的晶圆干燥机,用于冲洗之前工艺步骤的残留物,然后干燥晶圆。专有设计与技术搭配 CDA 用于非工艺功能,使氮气使用的停歇时间减少 50%。RENA COMPASS SRD 系列设计旨在减少运行成本,同时超越现有洁净度、干燥度及颗粒规范,带来目前 SRD 配备的先进功能。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。

 

特点与优势

  • 湿进干出工艺
  • 低颗粒量
  • 优越的振动和静电控制
  • 10 喷嘴去离子水喷淋组
  • 氮气加热器和温度监控设定点可编程
  • 可编程型盆体包裹(Bowl Blanket)加热器和温度监控
  • 无刷 DC 电机,附有 RPM 及位置控制编码器
  • 电阻率监视器
  • 转子用于高/低剖面片盒 50-300mm(2 至 12 英寸晶圆),还有针对特殊应用的掀开式抓手
  • 借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制
  • 10.4 英寸彩色触控屏用户界面
  • 主机通讯
  • 遵循 FM4910 标准
  • CE 认证
  • 提供台式、独立式和双独立式(粉末喷涂与不锈钢型)
敬请联系!
电话 : +49 7723 9313-0