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设备升级

RENA ozone upgrade for inline tools

设备升级

定制化解决方案。

适应能力是确保长期成功的最重要因素之一。因此,需要对框架条件的变化(如不断上涨的成本压力或频繁变换的技术要求)作出反应:通过调整您的 RENA 机器。

只有这样,才能确保今后一如既往的高生产率和备件可用性。这也将延长了机器的使用寿命。

我们的工程师会通过与您密切协商来制定解决方案,从而确保您的设备以最佳状态胜任新要求、新变化。

可以考虑特定要求,例如:在无尘室内改装、不改变机器尺寸、最大限度缩短停工时间。

 

根据常见的 GMP 和 CE 指南规划和集成升级。我们的专家团队为您提供支持,从个性化的咨询与工程服务到实现和集成。

批处理

- 称重单元

掌控流程。持续控制刻蚀量实现 100% 重现均匀结果。

链式

InTex NIAK DW Tex

针对金刚石线锯多晶硅晶片的无金属添加剂制绒 dwTex 是 RENA 面向金刚石切割多晶硅晶片无金属制绒 推出的添加液。即使工艺时间短,也不会造成效率损失——预期产能高达 5000 片/小时。硬件轻松集成至现有设备。最佳运营成本。RENA dwTEX 基于有机化合物,不会危害环境或人员健康,而且无需增添废水处理。


InOxSide NIAK 吞吐量增加(速度升级)

在很多情况下,现有设备的吞吐量增加或“去瓶颈”是保证或延长投资有效期的最经济的途径。RENA 通过解决方案支持客户改进设备效率,适应特定应用要求


InTex NIAK/InOxSide NIAK/Batch MES/SECS GEM(工业 4.0)

MES(Manufacturing Execution System,制造执行系统)被视为数字化转型的重要基石。 籍此可实现实时管理、监督和控制生产。 作为生产管理系统,它可充当企业管理层 (ERP)与操作层(生产或车间)之间的桥梁。


称重单元

掌控流程。持续控制刻蚀量实现 100% 重现均匀结果。


RFID 载片装置跟踪(工业 4.0)

RFID 载片装置跟踪实现明确识别每一个载片装置以便在设备内跟踪。 客户还可以定义自动化查询 (Trace),由此获得例如分配给每个载片装置的测量值(浸泡时间、温度、刻蚀量等)。


备件 PC

为保证较高的设备可用性, 预配置的备件设备计算机实现在故障情况下快速更换。以此最大限度减少或避免生产损失。

服务
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