Was ist ein Carrier in einer nasschemischen Anlage von RENA Technologies?
Ein Carrier ist ein speziell entwickelter Transport- und Prozessbehälter zur Aufnahme von Waferscheiben, Solarzellen oder anderen Produkten. Er positioniert die Substrate während der nasschemischen Prozesse exakt und reproduzierbar und ermöglicht deren sicheren, automatisierten Transport durch die nasschemische Anlage. Der Carrier ist dabei ein integraler Bestandteil des Anlagenkonzepts und trägt maßgeblich zu Prozessstabilität, gleichmäßiger Benetzung und hoher Produktqualität bei.
In der Halbleiterfertigung werden unterschiedliche Carrier-Konzepte eingesetzt, darunter konventionelle Prozess-Carrier, Low-Mass-Carrier (LMC) sowie carrierlose Ansätze (Carrierless). Für eine zuverlässige Prozessführung der nasschemischen Anlage müssen Beckengeometrie, Substratführung und Strömungsführung (Anströmung) spezifisch auf das jeweilige Trägersystem ausgelegt werden.
Die jeweiligen Konzepte sind mit unterschiedlichen technischen Randbedingungen verbunden: Beim Carrierless-Prinzip stehen insbesondere das prozesssichere Greifen, Handling und die definierte Substrataufnahme im Becken im Vordergrund. Bei LMC- und Prozess-Carriern ist vor allem die strömungsmechanische Auslegung an den Kontakt- und Abschattungspunkten des Carriers entscheidend, da diese Bereiche die lokale Chemikalienversorgung, Benetzung und damit die Prozessuniformität beeinflussen können.
Zusätzlich wird zwischen Transport-Carriern und Prozess-Carriern unterschieden. Transport-Systeme wie FOUP (Front Opening Unified Pod) oder SMIF (Standard Mechanical Interface) dienen primär der kontaminationsarmen Logistik und Lagerung und werden typischerweise nicht in die nasschemische Prozessanlage eingebracht.
Welchen Einfluss hat der Carrier auf die Prozesshomogenität?
Bei RENA Technologies hat der Carrier einen wesentlichen Einfluss auf die Prozesshomogenität. Sein Design bestimmt maßgeblich die Strömungsführung, die Benetzung der Substrate sowie den Chemikalienaustausch während der nasschemischen Prozesse. Ein auf das jeweilige Anlagenkonzept und den spezifischen Prozess abgestimmter Carrier trägt entscheidend zu gleichmäßigen, reproduzierbaren Prozessergebnissen und einer hohen Produktqualität bei.
Sind Carrier bei RENA Technologies für automatisiertes Handling geeignet?
Ja, Carrier sind speziell für den automatisierten Betrieb ausgelegt. Sie sind kompatibel mit Robotern, Greifern und Fördersystemen innerhalb der nasschemischen Anlagen und bilden die standardisierte Transporteinheit für den Substrattransport. Dadurch ermöglichen sie ein sicheres, zuverlässiges und reproduzierbares Handling über alle Prozessschritte hinweg.
Welche Anforderungen müssen Carrier bei RENA Technologies erfüllen?
Carrier müssen den spezifischen Prozessanforderungen der jeweiligen nasschemischen Anlage entsprechen. Sie sind beständig gegenüber den eingesetzten Chemikalien, Temperaturen und Prozesszeiten, erfüllen hohe Anforderungen an Reinheit und sind frei von Partikelbildung. Dadurch unterstützen sie stabile Prozesse, minimieren Kontaminationsrisiken und tragen zur hohen Produktqualität der Nassbänke bei.
Zentrale Vorteile des Carrier-Konzepts :
Exakte und reproduzierbare Substratpositionierung
Homogene Benetzung und gleichmäßige Prozessergebnisse
Sicheres, vollautomatisiertes Handling
Hohe Prozessstabilität und Produktqualität
Chemisch und thermisch beständig
Sehr geringe Partikelbildung, minimiertes Kontaminationsrisiko
