The wet processing company

Halbleiter

Innovative Lösungen für die Halbleiterproduktion

RENA Technologies GmbH bietet als globaler Technologieführer integrierte Produktionsanlagen für die nasschchemische Oberflächenbehandlung an. Dies umfasst Automatische sowie manuelle Nassprozessanlagen für die Herstellung von Halbleiterprodukten aus den unterschiedlichsten Bereichen. Diese innovativen Lösungen finden FEOL und BEOL Anwendung in der Prime Wafer-Herstellung, Chip und MEMS Fertigung, Plating von unterschiedlichsten Substraten sowie Reel-to-Reel-Bearbeitung.

 

Automatische und manuelle Nassprozessanlagen

Chiphersteller produzieren in manuellen RENA-Nassprozessanlagen Klein- und Kleinstserien nach exakt einstellbaren und protokollierten Prozessparametern. Sie liefern Forschungsabteilungen damit wichtige Kenndaten zur Entwicklung neuer Produkte und kommen individuellen Kundenansprüchen nach.

In den automatischen RENA Nassprozessanlagen produzieren Chip- und MEMS-Hersteller in kontinuierlicher Serienproduktion mit Prozessgarantie. Die innovativen Produktionsmaschinen beherrschen alle Nassprozesse für die Front-End-of-Line (FEOL)- und Back-End-of-Line (BEOL)-Produktion. 

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