Wafer Drying

 

Trocknungsprozesse sind für die Endqualität der Wafer wesentlich. Variablen wie Trocknungsgeschwindigkeit, Anpassungen an die Produktgeometrie und der Grad der Sauberkeit können beeinflusst werden. Je nach Prozess eignen sich unterschiedlicher Trocknerkonfigurationen. RENA bietet Standalone-Lösungen sowie integrierte Trockner für verschiedene Nassverarbeitungsanlagen.

 

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