BatchGlass Lab 是用于玻璃基板的半自动湿法加工工具。此工具可容纳从小型晶圆到 600 x 600 mm 大型面板的基板。在批处理过程中，可以蚀刻、清洁和干燥尺寸达 600 x 600 mm 的面板。在特殊条件下进行蚀刻给予了非常高的蚀刻选择性。RENA 提供特殊预清洁和后清洁程序，允许对有待蚀刻和蚀刻后深度清洁的基板进行条件准备。对于孔小而深的玻璃基板来说，后清洁程序变得极为重要。精妙的槽设计和优化的流量确保出色的蚀刻均匀性。这对于激光和蚀刻的组合应用至关重要，例如包装行业的玻璃通孔 (TGV)。