BatchGlass Lab ist eine halbautomatische Nassbearbeitungsanlage für Glassubstrate. Sie kann Substrate von kleinen Wafern bis hin zu 600 x 600 mm großen Platten aufnehmen. In den Batch-Prozessen können Platten von bis zu 600 x 600 mm geätzt, gereinigt und getrocknet werden. Das Ätzen unter speziellen Bedingungen ermöglicht eine sehr hohe Selektivität. RENA bietet spezielle Vor- und Nachreinigungsverfahren an, die eine Konditionierung der Substrate für das Ätzen und eine intensive Reinigung nach dem Ätzen ermöglichen. Nachreinigungsverfahren sind für Glassubstrate mit kleinen und tiefen Hohlräumen von großer Bedeutung. Die optimierte Tank- und Durchflusskonzeption gewährleistet eine äußerst homogene Ätzung. Dies ist von entscheidender Bedeutung für kombinierte Laser- und Ätzverfahren wie TGV (Through Glass Vias) in der Verpackungsindustrie.