高度可靠的批量生产解决方案

 

作为湿法化学表面处理领域创新及技术的全球领先者,RENA 推动晶圆和芯片生产的工艺自动化发展。旗下产品范围涵盖工艺保障可靠批量生产的标准解决方案,乃至符合特殊客户要求的系统和工艺。

 

 

手动和自动湿法工作台

RENA 手动和自动湿法工作台处理所有湿法工艺,面向前道工艺 (FEOL) 与后道工艺 (BEOL) 生产。它们满足 CMOS、MEMS、OLED、LED 和光电装置制造商对其生产环境的高期待。

RENA 湿法工作台采用成熟的模块化设计且占地面积小,能够快速启动,还有助于迅速做出特定工艺调整,从而优化当前生产。

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