针对多步骤半导体制程，RENA 推出了紧凑型 Revolution+，这是一种灵活的自动化湿式工作台，具有一个中央旋转机器人、多达三个制程槽、三个漂洗槽和集成干燥功能。该平台专为高效表面处理而设计，包括蚀刻、清洗和抗蚀剂剥离，是 FEoL 和 BEoL 应用的理想之选。借助 RENA 软件，Revolution+ 可提供先进的过程控制和监测。可根据客户的要求，集成专利金属蚀刻等专用配置。Revolution+"占地面积小，耗水量和化学品消耗量低，是一种高效、经济的解决方案。