Advancer

 

"Advancer”平台的湿法处理系统经过实践考验,是耐用的一站式解决方案。配置轻松,一种工艺与一个冲洗槽以及侧壁线性机器人应用。所有半导体工艺均可集成,走在时代前沿。Advancer 占地空间小,十分便于维护。IDX Flexware 软件中有众多有助于工艺控制及监控的功能。所有 RENA 系统皆可用,符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。

 

提供三款“Advancer”系统:Gemini、Classic 和 Micro。

特点与优势

  • 干对干能力
  • 一站式工艺与冲洗设计
  • 单或双片盒处理
  • 50 mm 至 200mm 晶圆尺寸
  • 150 与 200 mm 处理,无变更
  • IDX Flexware 工艺控制软件
  • 直观型 HMI 触控屏
  • 高度耐用,侧装型机器人
  • SECS/GEM 界面选项
  • 灵活可升级
  • 依据客户规范量身打造
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